當(dāng)前位置:努美(北京)科技有限公司>>光學(xué)平臺(tái)>>光學(xué)試驗(yàn)臺(tái)>> 63-635TMC潔凈室試驗(yàn)臺(tái)
TMC潔凈室試驗(yàn)臺(tái)63-635
全不銹鋼TMC ClassOne™工作站是一款高性能氣動(dòng)隔振工作臺(tái),設(shè)計(jì)安裝在地面上,可實(shí)現(xiàn)最大的潔凈室兼容性。隔振性能由相同的Gimbal Piston™元件提供,它還可為光學(xué)平臺(tái)、電子顯微鏡、精密天平和掃描隧道顯微鏡提供*與倫比的隔振性能。
TMC潔凈室試驗(yàn)臺(tái)63-635
ClassOne工作站用潤(rùn)濕酒精的無(wú)絨布進(jìn)行了擦拭,并在出廠前用塑料進(jìn)行雙層包裹。
Gimbal Piston隔振器
所有CleanBench工作臺(tái)均采用TMC的Gimbal Piston空氣隔振器作為標(biāo)準(zhǔn)配置。在并排測(cè)試中,Gimbal Piston的性能一直優(yōu)于其他空氣隔振器。它在所有軸上都有出色的低頻隔振性能,即使在極低的輸入激勵(lì)水平下也能保持其性能規(guī)格。專有的減振技術(shù)使Gimbal Piston能夠穩(wěn)定上重下輕的有效載荷,并能迅速消除隔振臺(tái)面的干擾。
優(yōu)點(diǎn)
從2 Hz開(kāi)始的垂直和水平隔振
在10 Hz時(shí)振動(dòng)減少95%以上
幾乎無(wú)摩擦,避免了滾動(dòng)摩擦向靜摩擦過(guò)渡
通過(guò)充當(dāng)萬(wàn)向節(jié)來(lái)調(diào)整水平位移
即使是*低輸入水平,Gimbal Piston®空氣隔振器也可在各個(gè)方向上提供出色的隔振性能。它具有輕微的阻尼特性,對(duì)典型的低振幅環(huán)境地面振動(dòng)具有高響應(yīng)性,而對(duì)于嚴(yán)重的瞬態(tài)干擾(例如突然的負(fù)載變化或頂板撞擊),它可實(shí)現(xiàn)非常好的減振效果。結(jié)果表明,Gimbal Piston隔振器可提供*越的隔振效果,幾乎可以在幾秒鐘內(nèi)消除任何嚴(yán)重干擾。它還可以穩(wěn)定具有相對(duì)較高重心的隔振系統(tǒng),而不會(huì)影響隔振效果。
低振幅輸入響應(yīng)
在設(shè)計(jì)有效的隔振器時(shí),所遇到的最大挑戰(zhàn)是在周?chē)ㄖ孛嬲駝?dòng)的典型低振動(dòng)幅度輸入下保持良好性能。隔振器規(guī)格通?;趯⒏粽衿鞣胖迷谡穹斎胨椒浅8叩摹罢駝?dòng)臺(tái)"上進(jìn)行的測(cè)量。這種輸入振幅約為毫米的測(cè)試會(huì)導(dǎo)致對(duì)性能的估計(jì)不切實(shí)際,并且具有誤導(dǎo)性,因?yàn)榻Y(jié)果不能反映實(shí)際使用中的性能。
Gimbal Piston隔振器設(shè)計(jì)的*特之處在于即使在最安靜、真實(shí)的地面環(huán)境中也能保持其規(guī)定的共振頻率和高水平的衰減量。這種性能與如此低的振幅成線性關(guān)系,因?yàn)樵O(shè)計(jì)幾乎沒(méi)有摩擦,因此能夠避免滾動(dòng)摩擦到靜摩擦過(guò)渡。
我們?cè)诘湫偷牡孛嬲駝?dòng)水平下測(cè)試的所有其他系統(tǒng)要么比聲稱的共振頻率高,要么通過(guò)隔振器支架的傳輸大幅增加。
我們強(qiáng)調(diào)性能規(guī)格在低輸入水平的重要性,因?yàn)槲覀冊(cè)谧约旱臏y(cè)試和許多使用過(guò)的設(shè)備中反復(fù)觀察到,在更大的振幅和更高的頻率下更容易實(shí)現(xiàn)更好的性能。
水平與垂直輸入
我們創(chuàng)新的隔振器可以充當(dāng)萬(wàn)向節(jié),使薄壁滾動(dòng)密封膜片能夠適應(yīng)水平位移。Gimbal Piston隔振器未使用電纜式鐘擺懸架,而是將載荷放在一個(gè)單獨(dú)的頂板上,該頂板上有一根向下伸入到主活塞井內(nèi)的剛性桿。桿的底部有一個(gè)支撐在堅(jiān)硬、平坦底座上的球形端部。由于球在底座上非常輕微地?fù)u動(dòng)(無(wú)滑動(dòng)或滾動(dòng)),因此,固有的柔性聯(lián)軸器可在隔振器中水平彎曲。即使輸入位移在微英寸以下水平,該方法也非常有效,因?yàn)殪o摩擦幾乎與滾動(dòng)摩擦相同。水平運(yùn)動(dòng)只是轉(zhuǎn)換為通常的垂直膜片彎曲,但不同相:活塞的一側(cè)向上,另一側(cè)向下,以萬(wàn)向節(jié)式運(yùn)動(dòng)。
其他類型隔振器的局限性
厚壁橡膠膜片。大多數(shù)商用隔振器在活塞中采用廉價(jià)的厚壁橡膠膜片來(lái)實(shí)現(xiàn)垂直隔振。由于這些元件的相對(duì)不靈活性,低振幅隔振性能不太理想。雖然這種系統(tǒng)用手感覺(jué)起來(lái)較“柔軟",但對(duì)于典型的低水平地面振動(dòng),橡膠更像是一個(gè)剛性聯(lián)軸器而并非柔性隔振器。
密封氣動(dòng)隔振器(被動(dòng))。密封空氣隔振器不會(huì)自動(dòng)根據(jù)負(fù)載變化進(jìn)行調(diào)整。這種系統(tǒng)的主要局限性在于,它們太硬而不能有效地隔振。例如,一個(gè)真正1.5 Hz共振頻率的被動(dòng)隔振器在負(fù)載、溫度或壓力發(fā)生微小變化時(shí)會(huì)垂直漂移幾英寸,并且需要不斷的手動(dòng)調(diào)整。因此,實(shí)際密封隔振器并沒(méi)有這一設(shè)計(jì)的低共振頻率。
軸承滑板。 理論上,軸承滑板可通過(guò)其解耦效應(yīng)實(shí)現(xiàn)水平隔振。實(shí)際上,如果要讓這種設(shè)計(jì)在低振幅下工作,就需要公差很小、經(jīng)過(guò)精密磨削的硬化軸承?,F(xiàn)有的商用版本不能克服低振幅下的靜摩擦力以使軸承滾動(dòng)。此外,所有這些系統(tǒng)最初都很難對(duì)齊,并且很容易偏離校準(zhǔn)范圍。
自制組裝。 自制隔振系統(tǒng) - 通常是放置在橡膠墊、網(wǎng)球或氣囊上的鋼板或花崗巖板 - 只有在干擾振動(dòng)頻率高且需要最小隔振的情況下才能工作。雖然所有隔振器都使用在阻尼彈簧上放置質(zhì)量的原理,但它們的性能主要通過(guò)彈簧剛度來(lái)區(qū)分:彈簧越硬,共振頻率越高。因此,自制解決方案受到其高共振頻率的限制。
具有1.5 Hz垂直共振頻率的Gimbal Piston™隔振器在2 Hz時(shí)開(kāi)始隔振,并可在10 Hz時(shí)將振動(dòng)降低95%以上。具有7 Hz共振頻率的鋼板下的網(wǎng)球在10 Hz以上開(kāi)始隔振并在30 Hz時(shí)將振動(dòng)減小90%。但是大多數(shù)建筑物地面在5到30 Hz之間表現(xiàn)出最高的振動(dòng)位移,因此網(wǎng)球或橡膠墊通過(guò)放大5到10 Hz之間的環(huán)境頻率實(shí)際上會(huì)使問(wèn)題變得更加嚴(yán)重。
規(guī)格
Isolator natural frequency: High Input
Low Input |
Vertical=1.2Hz Horizontal=1.0Hz Vertical=1.5-2.0Hz Horizontal=1.2-1.7Hz |
Isolation effciency@5Hz | Vertical=70-85% Horizontal=75-90% |
Isolation effciency@10Hz | Vertical=90-97% Horizontal=90-97% |
Recommended payload | 350lb(160kg) |
Finish | Electropolished stainless steel frame,passivated or electropolished stainless steel top |
Facilities required | 80 psi nitrogen or air |
訂購(gòu)表
帶Gimbal Piston隔振的ClassOne工作站
工作臺(tái)尺寸(深 x 長(zhǎng)) | 鈍化不銹鋼頂部 | 電拋光不銹鋼頂部 |
750 x 875毫米 29.5 x 34.5英寸 | 63-631 | 63-635 |
750 x 1175毫米 29.5 x 46.3英寸 | 63-641 | 63-645 |
900 x 1175毫米 35.4 x 46.3英寸 | 63-661 | 63-665 |
900 x 1500毫米 35.4 x 59.0英寸 | 63-671 | 63-675 |
配件 - 所有工作臺(tái)尺寸
可伸縮腳輪(一套四個(gè)) | 83-015-01 |
配件 - 取決于尺寸
工作臺(tái)尺寸 (深 x 長(zhǎng)) | 滑動(dòng)擱板 - 250毫米(1英寸) 圖案:10毫米(0.4英寸) 孔在25毫米(1英寸)中心 | 后支撐桿和安裝夾具1 |
750 x 875毫米 29.5 x 34.5英寸 | 81-312-06 | 81-302-05 |
750 x 1175毫米 29.5 x 46.3英寸 | 81-312-06 | 81-302-06 |
900 x 1175毫米 35.4 x 46.3英寸 | 81-312-07 | 81-302-06 |
900 x 1500毫米 35.4 x 59.0英寸 | 81-312-07 | 81-302-07 |
*定擱板時(shí)需要